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旋入旋出装置和片库设备

  • 申请号:CN201810904673.8 申请公布号: CN110824849A
  • 申请日: 2018-08-09 申请公布日: 2020-02-21
  • 申请(专利权)人:上海微电子装备(集团)股份有限公司 专利代理机构: 上海思捷知识产权代理有限公司
  • 分类号:G03F7/20(20060101)

专利介绍

本发明提供了一种旋入旋出装置和片库设备,片库设备包括:片库框架、旋入旋出装置和操作面板,所述旋入旋出装置的支架安装在所述片库框架上,所述操作面板固定在所述操作臂上;旋入旋出装置包括:支架、操作臂和调整臂,所述操作臂的一端通过转动结构连接在所述支架上,所述操作臂具有容置腔室,所述调整臂通过可伸缩弹性元件连接在所述操作臂的容置腔室内,所述操作臂的另一端安装有待旋入旋出对象,所述调整臂的一端旋转连接所述操作臂,所述调整臂的另一端为悬置端,所述操作臂与所述支架之间连接有氮气弹簧,可以满足当片库处于运输或转移状态时,操作面板位于一个位置,当操作人员操作时,操作面板位于另一个位置的要求。